超高纯磷酸的分离和过滤

　　用于制造和处理硅芯片的化学品的净化度对于生产电气特性和可靠性稳定的电子部件和电路来说非常高。为了防止硅芯片上的粒子污染，请使用电子纯度化学物质(净化到0.2微米粒子大小以下的膜过滤器)，减少现在不含离子杂质、可溶性杂质和有机杂质的化学品。这些杂质很有害。因此，必须生产离子污染(碱金属和重金属污染)浓度低的超高纯磷酸。

　　因此，在高磷酸萃取纯化中使用膜过滤装置，可以有效地去除杂质，效率更高，完全不产生污染物。

　　超高纯磷酸银双极器件和金属氧化物半导体晶体管生产中的Si3N4。有助于薄膜或铝薄膜的线型刻蚀。有几种生产超高纯磷酸的方法，一种是纯化商品元素磷，在空气中燃烧，将氧化磷排出水中。第二是纯化商品氧化后，引水，第三是纯化商品磷酸。目前，精制元素磷的技术引进了现有的热磷酸生产工艺，使用过滤到0.2微米的去离子数和空气，严格选择构建设备所需的优良材料，生产出超高纯磷酸。该产品比一般电子级纯度的磷酸纯得多，几乎检测不到杂质含量。

　　因此，制作高纯度的高磷酸分离和过滤只能通过膜过滤设备来完成。